DRK8090 Профили фотоэлектрикӣ

Ин асбоб усули ченкунии интерферометрии бидуни тамос, фаза ивазкунандаи оптикиро қабул мекунад, ҳангоми ченкунӣ ба сатҳи порчаи кор зарар намерасонад, метавонад графикаи сеченакаи микротопографияи рӯи қисмҳои гуногуни корро зуд чен кунад ва ченкуниро таҳлил ва ҳисоб кунад. натиҷаҳо.

Тавсифи Маҳсулот
Хусусиятҳо: Муносиб барои чен кардани ноҳамвории сатҳи блокҳои гуногуни ченакҳо ва қисмҳои оптикӣ; умқи ретикули ҳоким ва цифр; ғафсии рӯйпӯши сохтори чуқури тор ва морфологияи сохтори сарҳади пӯшиш; сатҳи диски магнитӣ (оптикӣ) ва сари магнитӣ Андозагирии сохтор; ноҳамвории сатҳи вафли кремний ва андозагирии сохтори намуна ва ғайра.
Аз сабаби дақиқии баланди андозагирии асбоб, он дорои хусусиятҳои ченкунии бидуни тамос ва сеченака буда, назорати компютерӣ ва таҳлили фаврӣ ва ҳисобкунии натиҷаҳои андозагириро қабул мекунад. Ин асбоб барои ҳама сатҳҳои воҳидҳои тадқиқотии санҷишӣ ва андозагирӣ, утоқҳои ченкунии корхонаҳои саноатӣ ва кӯҳӣ, устохонаҳои коркарди дақиқ, инчунин барои муассисаҳои таҳсилоти олӣ ва муассисаҳои тадқиқотии илмӣ ва ғайра мувофиқ аст.
Параметрҳои асосии техникӣ
Андозаи диапазони умқи нобаробарии сатҳи микроскопӣ
Дар сатҳи доимӣ, вақте ки тағироти ногаҳонии баланд аз 1/4 дарозии мавҷ байни ду пиксели ҳамсоя вуҷуд надорад: 1000-1nm
Ҳангоме ки мутацияи баландӣ аз 1/4 дарозии мавҷ байни ду пиксели ҳамсоя зиёд аст: 130-1нм
Такрорпазирии андозагирӣ: δRa ≤0.5nm
Баландшавии объективии объективӣ: 40X
Диафрагмаи рақамӣ: Φ 65
Масофаи корӣ: 0,5 мм
Майдони дидани асбобҳо визуалӣ: Φ0.25mm
Сурат: 0,13 × 0,13 мм
Баландшавии асбоби визуалӣ: 500×
Сурат (бо экрани компютер мушоҳида мешавад) -2500×
Массиви андозагирии қабулкунанда: 1000X1000
Андозаи пиксел: 5.2 × 5.2µm
Вақти ченкунии вақти намунагирӣ (сканерӣ): 1S
Инъикоси оинаи стандартии асбоб (баланд): ~50%
Инъикос (паст): ~4%
Манбаи рӯшноӣ: лампаи лампаи 6V 5W
Дарозии мавҷи филтри интерференсияи сабз: λ≒530nm
Бари нисфи λ≒10нм
Баландии асосии микроскоп: 110 мм
Баланд бардоштани миз: 5 мм
Диапазони ҳаракат дар самти X ва Y: ~ 10 мм
Диапазони гардиши мизи корӣ: 360 °
Диапазони майли мизи корӣ: ±6°
Системаи компютерӣ: P4, 2.8G ё бештар, дисплейи ҳамвор 17-дюймаи бо хотираи 1G ё бештар